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蔡司三坐標(biāo)的紅寶石表面接觸測試，但軟件得到球中心數(shù)據(jù)，然后軟件根據(jù)探頭補(bǔ)償給出實(shí)際值。前者在裝配前進(jìn)行補(bǔ)償。后者是相反的。
例如，平面擬合，通過多個點(diǎn)的擬合：在測量每個點(diǎn)后，進(jìn)行探頭半徑補(bǔ)償，并將球中心點(diǎn)補(bǔ)償?shù)焦ぜ砻妫粚γ總€點(diǎn)重復(fù)上述步驟。然后，用小二乘法計(jì)算補(bǔ)償?shù)焦ぜ砻娴乃悬c(diǎn)。缺點(diǎn)：各部分都有余弦誤差，特別是曲率變化較大的區(qū)域。
平面和直線可以理解為曲線和曲面的特殊形式。表面越直，兩種方法的差別越小。對于曲率變化明顯的曲面，的擬合再補(bǔ)償精度應(yīng)得到更大的保證。不建議使用PC-DMIS構(gòu)造曲線和曲面，因?yàn)橛性S多處理方法。PC-DMIS在這方面的計(jì)算還不夠全面和專業(yè)。它是一個專業(yè)的測量軟件。本文討論的兩種方法都是針對如何準(zhǔn)確測量并獲得準(zhǔn)確的測量值而提出的，相反，面積掃描的計(jì)算方法類似于擬合再補(bǔ)償，可以提高表面掃描中獲得測量點(diǎn)的精度。
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